半导体设备中的旋转接头包括接头座、设置在接头座上的定子、和定子套装连接的转子、和转子套装连接的密封圈、和转子固定连接的陶瓷基盘以及陶瓷吸盘，旋转接头转子和定子之间设置有用以使转子平稳运行的轴承，用锁母固定从而保证两者之间的相对运动和在旋转过程中水、真空、气的输送，接头座上设置有旋转接头，上面装上快换接头，它是通道的入口，密封圈具有优良的密封性能，可以保证在旋转接头旋转过程中，真空、 水、气体几种介质不发生泄漏。